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精準監(jiān)測電離分數(shù)與沉積通量,助力PVD/IPVD工藝與涂層質量雙重提升

發(fā)布時間:2024-12-25 來源:投稿 責任編輯:admin

瑞典Ionautics lonMeter:精準監(jiān)測電離分數(shù)與沉積通量,助力PVD/IPVD工藝與涂層質量雙重提升


在物理氣相沉積(PVD)和電離物理氣相沉積(IPVD)領域,精確監(jiān)測沉積通量和電離分數(shù)對于優(yōu)化工藝參數(shù)和涂層質量至關重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰(zhàn)提供了創(chuàng)新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平(QCM)技術,不僅實現(xiàn)了實時監(jiān)測,還通過一系列獨特設計,提升了電離分數(shù)監(jiān)測的準確性和可靠性。

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  關于lonMeter

  lonMeter憑借其獨特的傳感器設計,能夠精確量化沉積通量中的電離分數(shù),這對于深入理解電離機制及優(yōu)化電離參數(shù)至關重要。在加工過程中,它提供實時現(xiàn)場測量功能,使研究人員能夠即時調(diào)整工藝參數(shù)以確保產(chǎn)品質量。為了確保電離分數(shù)監(jiān)測的準確性,lonMeter還配備了高效的磁屏蔽裝置,這一設計不僅有效避免了等離子體電子對診斷過程的干擾,同時確保了離子和中性物質的順利傳輸,從而提供了更加準確和可靠的電離分數(shù)數(shù)據(jù)。與傳統(tǒng)的使用網(wǎng)格的解決方案相比,lonMeter的磁屏蔽裝置在阻擋電子方面表現(xiàn)出色,且專注于成膜材料的監(jiān)測,排除了雜質干擾,使得數(shù)據(jù)更加可靠。lonMeter的應用范圍廣泛,涵蓋了電離物理氣相沉積(IPVD)工藝的多個方面:

  ●  電離通量分數(shù)優(yōu)化

  通過實時監(jiān)測電離過程中的關鍵參數(shù),lonMeter能夠幫助用戶優(yōu)化電離通量分數(shù),提高工藝的穩(wěn)定性和效率。

  ●  過程穩(wěn)定性提升

  lonMeter能夠監(jiān)測電離過程中的漂移,及時采取措施進行緩解,從而確保涂層質量的一致性和可靠性。

  ●  涂層參數(shù)調(diào)整

  通過調(diào)整電離參數(shù),用戶可以利用lonMeter靈活調(diào)整涂層的應力、硬度和電導率等關鍵性能,以滿足不同應用場景的需求。

  應用優(yōu)化策略于多個領域:

  1.電離物理氣相沉積(IPVD)中電離通量分數(shù)的優(yōu)化工藝

  2.通過監(jiān)測和緩解電離過程中的漂移來實現(xiàn)過程穩(wěn)定

  3.通過監(jiān)測和控制電離來調(diào)整涂層參數(shù),如應力、硬度和電導率

  4.通過空間映射電離和沉積來優(yōu)化沉積系統(tǒng)設計

  5.系統(tǒng)設計優(yōu)化,希望它均勻分布在空間中

  6.在加工過程中現(xiàn)場優(yōu)化 PVD 源和磁體組設計

  IonMeter產(chǎn)品規(guī)格

  石英振蕩器類型: 6 MHz

  頻率分辨率: ± 0.01 Hz,10次讀數(shù)/秒

  頻率穩(wěn)定度: 總計± 2 ppm,0°至 50°C 范圍內(nèi)

  水晶兌換: 前裝式獨立包裝,方便更換

  通訊接口: USB

  輸入電壓:USBC

  環(huán)境規(guī)格:

  無水冷時最高工作溫度:130°C

  最小水冷流量時最高工作溫度:400°C

  規(guī)范:CE 認證

  尺寸和安裝

  傳感器尺寸:待定

  安裝:40CF(法蘭),1xBNC-Microdot和2x水

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  為何選擇lonMeter?

  lonMeter不僅能夠輔助優(yōu)化電離物理氣相沉積工藝中的電離通量分數(shù),穩(wěn)定工藝過程;還能夠通過監(jiān)測和控制電離來調(diào)整涂層參數(shù),滿足多樣化需求;同時,通過繪制電離和沉積的空間分布圖,lonMeter還能夠輔助沉積系統(tǒng)布局、PVD源和磁鐵組的優(yōu)化設計,提高沉積效率和涂層質量,為研究人員提供了便利。

  lonMeter作為瑞典Ionautics公司提供的創(chuàng)新解決方案,憑借其基于石英晶體微天平(QCM)技術的獨特設計和高效磁屏蔽裝置,在物理氣相沉積(PVD)和電離物理氣相沉積(IPVD)領域展現(xiàn)出了卓越的性能。它不僅實現(xiàn)了對沉積通量和電離分數(shù)的精確監(jiān)測,還通過實時監(jiān)測和現(xiàn)場優(yōu)化策略,顯著提升了工藝參數(shù)的優(yōu)化能力和涂層質量的穩(wěn)定性。無論是在電離通量分數(shù)的優(yōu)化、過程穩(wěn)定性的提升,還是在涂層參數(shù)的調(diào)整、沉積系統(tǒng)設計的優(yōu)化以及沉積過程中的現(xiàn)場優(yōu)化方面,lonMeter都展現(xiàn)出了其優(yōu)勢。對于致力于提升PVD和IPVD工藝水平的研究人員和工程師而言,選擇lonMeter它將為您的研究和生產(chǎn)工作帶來便利和效益。

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