圖1:ASMI 中國業(yè)務開發(fā)總監(jiān)徐來
事實上,在全球半導體設備行業(yè)中有兩家名稱中含有 ASM 的著名設備供應商,分別是 ASMI 和 ASM PT,目前均為上市公司。這兩家公司由同一創(chuàng)始人成立,ASMI 和 ASMPT 目前是獨立運營的,ASMI 主攻前段工序,ASMPT 主攻后段工序。兩者唯一的關系在于 ASMI 是 ASMPT 最大的持股者,前者持有后者 25% 的股份。
ASMI 于 1968 年在荷蘭成立,是全球前十大設備供應商之一。目前,ASMI 在全球 7 個國家設有研發(fā)中心和生產(chǎn)基地,擁有 1900 名員工。而 ASMI 中國總部位于上海,并在全國各地設有服務和支持的地點,還有面向先進技術研發(fā)的本地工藝工程支持。同時,公司也在本地存儲零部件以保證能快速服務客戶的需求。
擁有自己的工藝集成中心
據(jù)徐來介紹,ASMI 最大的優(yōu)勢就是 ALD 工藝,同時 ASMI 也是全球市占率最高的 ALD 工藝設備供應商。據(jù)公開資料顯示,ALD 設備是先進集成電路制造工藝中必不可缺少的薄膜沉積設備,ALD 工藝具有工藝溫度低、薄膜厚度控制精確及臺階覆蓋率高等優(yōu)點。
目前,ASMI 和許多中國芯片制造商合作,并已安裝了諸多設備,從低于 200mm 到 300mm 制造。面向的應用有邏輯/代工廠、存儲和模擬制造還有晶圓市場。在中國已用于生產(chǎn)的平臺有原子層沉積(ALD)、增強等離子體化學氣象沉積(PECVD)、立式爐(Vertical Furnace)、外延設備(Epitaxy)。
據(jù)悉,ASMI 不僅在韓國,日本和美國設有研發(fā)中心,在比利時和芬蘭也分別設有研發(fā)中心。
同時,徐來表示,"我們與其他設備廠最大的差異在于:ASMI有自己的工藝集成中心(比利時)。當我們在做先進制程研究時會發(fā)現(xiàn)一些應用,發(fā)現(xiàn)應用之后便有了對相關材料的需求,然后反饋給我們在芬蘭的材料研究中心,研究出相應的材料支持工藝。最后,反饋給事業(yè)部來根據(jù)要求制造設備、提供給客戶,再根據(jù)客戶需求更新設備。"
看好未來中國市場的增長
根據(jù) SEMI(國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會)于 2018 年 2 月 28 日公布的"全球晶圓廠預測報告"最新內容中指出,2019 年全球晶圓廠設備支出將增加 5%,連續(xù)第四年呈現(xiàn)大幅成長。除非原有計劃大幅變更,中國大陸將是 2018、2019 年全球晶圓廠設備支出成長的主要推手。
圖2:全球晶圓廠設備支出預測
SEMI 預測,2018 和 2019 年全球晶圓廠設備支出將以三星居冠,但投資金額都不及 2017 年的高點。相較之下,為支持跨國與本土的晶圓廠計劃,2018 年中國大陸的晶圓廠設備支出較前一年將大幅增加 57%,2019 年更高達 60%。 中國大陸設備支出金額預計于 2019 年超越韓國,成為全球支出最高的地區(qū)。
"正是因為看到中國市場強勁的增長表現(xiàn),ASMI 從去年開始做了很多改變,加強了市場拓展和客戶服務。"徐來表示,"實際上,ASMI 進入中國已經(jīng) 20 年,目前為止在中國的裝機容量約為 200 臺,涵蓋了中國所有的客戶?,F(xiàn)在重慶、徐州、廣州、青島等地都有新的客戶增加,所以相應的團隊也要不停的擴充。"
徐來認為,"ASMI 已經(jīng)在全球得到很多認可,是英特爾和臺積電的最佳供應商。未來隨著中國業(yè)務的增加,相信我們在中國也會得到更多的國內客戶的認可。"