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電容傳感器的原理及應(yīng)用
從能量轉(zhuǎn)換的角度而言，電容變換器為無(wú)源變換器，需要將所測(cè)的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進(jìn)行放大和處理。在有些條件下，這些力學(xué)量變化相當(dāng)緩慢，而且變化范圍極小，如果要求測(cè)量極小距離或位移時(shí)要有較高的分辨率，其他傳感器很難做到實(shí)現(xiàn)高分辨率要求，在精密測(cè)量中所普遍使用的差動(dòng)變壓器傳感器...
2008-10-11
電容傳感器 穩(wěn)定性 靈敏度 泰勒級(jí)數(shù)
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低頻光纖光柵加速度傳感器
本文設(shè)計(jì)了低頻光纖光柵加速度傳感器通過(guò)對(duì)其力學(xué)模型分析，建立了光纖光柵加速度傳感器的數(shù)學(xué)模型，得到了傳感器的加速度和光纖光柵波長(zhǎng)變化間的關(guān)系．通過(guò)振動(dòng)實(shí)驗(yàn)，得到了在不同阻尼下光纖光柵加速度計(jì)的幅頻特性。
2008-10-10
光纖光柵 低頻 加速度傳感器
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傳感器中的電壓/電流、電壓/頻率變換的實(shí)現(xiàn)
在工業(yè)控制領(lǐng)域，檢測(cè)傳感器件起著越來(lái)越重要的作用，各種先進(jìn)的傳感器正在大量應(yīng)用。本文介紹的兩個(gè)轉(zhuǎn)換電路所需費(fèi)用低，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)試方便，非常易于實(shí)現(xiàn)，并且經(jīng)過(guò)礦用監(jiān)測(cè)設(shè)備多次的實(shí)際現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用，其對(duì)于國(guó)內(nèi)一般的煤礦安全監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的接入信號(hào)的要求都能夠很好地滿(mǎn)足應(yīng)用。
2008-10-10
傳感器 電壓/電流 電壓/頻率
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傳感器信號(hào)調(diào)理電路
傳感器信號(hào)不能直接轉(zhuǎn)換為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，在變換為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)之前必須進(jìn)行調(diào)理。本文介紹了傳感器信號(hào)調(diào)理電路的組成、性能、工作原理以及傳感器和放大器匹配電路等。
2008-10-10
信號(hào)調(diào)理 傳感器 放大器
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采用適合工藝技術(shù)制造硅MEMS振蕩器
MEMS振蕩器商用化的一個(gè)最大障礙是開(kāi)發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。本文展示了一種適用于MEMS振蕩器的制造工藝，以及一組可與傳統(tǒng)的石英晶體技術(shù)相媲美的測(cè)量數(shù)據(jù)。這些測(cè)量數(shù)據(jù)是目前為止得到的最穩(wěn)定的MEMS振蕩器數(shù)據(jù)。
2008-10-09
純凈 振蕩 頻率 穩(wěn)定
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固態(tài)混合電勢(shì)氣體傳感器的原理和應(yīng)用
以混合電勢(shì)響應(yīng)為基礎(chǔ)的固態(tài)高溫氣體傳感器為各種還原性氣體提供了一種簡(jiǎn)單快速并且低成本的原位在線(xiàn)測(cè)量。這些傳感器響應(yīng)機(jī)理因電極材料、電極微觀(guān)形貌等不同而有所變化，主要分為混合電勢(shì)與被測(cè)氣體濃度呈對(duì)數(shù)關(guān)系或者線(xiàn)性關(guān)系兩種類(lèi)型。其響應(yīng)行為取決于電極反應(yīng)的Butler-Volmer動(dòng)力學(xué)方程的具體...
2008-10-09
混合電勢(shì) 氧化 還原 傳感器
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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報(bào)、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。本文研制了一種高性能、低成本的微型電容氣象壓力傳感器，整個(gè)流程工藝簡(jiǎn)單標(biāo)準(zhǔn)，薄膜材料選擇單晶硅，采用接觸式結(jié)構(gòu)，利用陽(yáng)極鍵合形成真空腔，最后由KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜并由試驗(yàn)結(jié)...
2008-10-09
電容式壓力傳感器 敏感薄膜 KOH腐蝕
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表面橫波生物傳感器的靈敏度分析
近年來(lái)在生物檢測(cè)研究方面，聲表面波傳感器因具有體積小、重量輕、性能穩(wěn)定、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)受到廣泛關(guān)注。本文將推導(dǎo)靈敏度、加工等方面對(duì)表面橫波傳感器靈敏度的影響，并進(jìn)行相關(guān)分析。
2008-10-09
表面橫波傳感器 柵陣 生物檢測(cè)
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MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計(jì)與制作
本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計(jì)原理及軟件模擬結(jié)果，并依據(jù)理論與模擬結(jié)果設(shè)計(jì)了工藝流程，對(duì)設(shè)計(jì)的懸梁式測(cè)風(fēng)傳感器進(jìn)行了測(cè)量。
2008-10-08
MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器 ANSYS CFD 工藝制作
- 研華AMAX革新城式：三合一平臺(tái)終結(jié)工業(yè)控制“碎片化”困局
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