機(jī)遇與挑戰(zhàn)：

• 光伏設(shè)備成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)領(lǐng)頭羊
• 其關(guān)鍵設(shè)備有待突破
• 中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于升級(jí)換代時(shí)期

市場(chǎng)數(shù)據(jù)：

• 我國(guó)90%以上的半導(dǎo)體設(shè)備依賴(lài)進(jìn)口
• 國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能電池組件比國(guó)外低30%左右

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是技術(shù)含量較高的行業(yè)，目前我國(guó)90%以上的半導(dǎo)體設(shè)備依賴(lài)進(jìn)口，尤其在高端IC設(shè)備領(lǐng)域，幾乎沒(méi)有國(guó)內(nèi)設(shè)備的聲音。因此，從其他半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域取得突破后，再“反哺”IC設(shè)備可以說(shuō)是中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)最切實(shí)可行的路。

光伏設(shè)備一枝獨(dú)秀

近兩年光伏設(shè)備的異軍突起使之成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展的領(lǐng)頭羊。中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)金存忠在接受《中國(guó)電子報(bào)》記者采訪(fǎng)時(shí)表示，由于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)IC設(shè)備的企業(yè)不多，而且本身生產(chǎn)的量也很少，導(dǎo)致國(guó)內(nèi)IC設(shè)備在設(shè)備領(lǐng)域所占比重逐漸減小，取而代之的是太陽(yáng)能光伏設(shè)備以及LCD(液晶顯示器)、LED(發(fā)光二極管)設(shè)備，這些市場(chǎng)的強(qiáng)勁需求帶動(dòng)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展。

中電科技集團(tuán)公司第48研究所副所長(zhǎng)王俊朝表示，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)總體的量不大，大部分用在研發(fā)線(xiàn)和小型線(xiàn)上，而且由于國(guó)內(nèi)IC生產(chǎn)線(xiàn)一般都是整線(xiàn)引進(jìn)，因此國(guó)產(chǎn)設(shè)備要進(jìn)入IC大生產(chǎn)線(xiàn)難上加難。“東方不亮西方亮”，IC市場(chǎng)的不景氣被光伏市場(chǎng)的欣欣向榮所替代，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠(chǎng)商迎來(lái)了快速發(fā)展甚至是超速發(fā)展的時(shí)期：國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備及硅片加工設(shè)備已經(jīng)在行業(yè)樹(shù)立起品牌美譽(yù)度。他介紹說(shuō)，目前，我國(guó)光伏設(shè)備企業(yè)從硅材料生產(chǎn)、硅片加工到太陽(yáng)能電池芯片的生產(chǎn)以及相應(yīng)的純水制備、環(huán)保處理、凈化工程的建設(shè)，已經(jīng)初步具備成套供應(yīng)能力，部分產(chǎn)品如擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、單晶爐、多晶鑄錠爐等開(kāi)始少量出口。“國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能電池組件比國(guó)外低30%左右，很大一部分原因在于國(guó)產(chǎn)設(shè)備價(jià)格低，用國(guó)外設(shè)備建一條線(xiàn)的錢(qián)，可以用國(guó)內(nèi)設(shè)備建3條線(xiàn)。”王俊朝對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格優(yōu)勢(shì)進(jìn)行了分析。
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關(guān)鍵設(shè)備突破在即

盡管?chē)?guó)產(chǎn)太陽(yáng)能設(shè)備逐漸崛起，但其中的一些關(guān)鍵設(shè)備還有待突破。王俊朝表示，太陽(yáng)能電池制造設(shè)備中全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)是亟待攻克的難題，目前已經(jīng)有多家企業(yè)在攻關(guān)，估計(jì)最近一兩年會(huì)有方案出來(lái);而多晶硅連續(xù)制絨設(shè)備也已經(jīng)有樣品出來(lái)，過(guò)不了多久就可以用在生產(chǎn)線(xiàn)上了。在多晶硅材料加工設(shè)備中多線(xiàn)切割機(jī)是要逾越的關(guān)卡，目前也已經(jīng)有樣機(jī)出來(lái)。這些都是值得期待的。“中國(guó)太陽(yáng)能光伏設(shè)備行業(yè)起步不晚，并且背靠中國(guó)這個(gè)產(chǎn)能最高、產(chǎn)量最大的太陽(yáng)能電池市場(chǎng)。國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能設(shè)備行業(yè)的崛起指日可待。”王俊朝對(duì)未來(lái)充滿(mǎn)了期待。光伏設(shè)備的發(fā)展離不開(kāi)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的全面啟動(dòng)，為此，王俊朝建議，應(yīng)盡早實(shí)施切實(shí)可行的“上網(wǎng)電價(jià)補(bǔ)貼法”并提高半導(dǎo)體尤其是太陽(yáng)能光伏產(chǎn)品的出口退稅率;制定全面的科技創(chuàng)新鼓勵(lì)政策，選定相關(guān)行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)給予重點(diǎn)支持。

七星華創(chuàng)副總經(jīng)理張國(guó)銘在接受記者采訪(fǎng)時(shí)表示，目前七星華創(chuàng)正在開(kāi)發(fā)晶體硅及薄膜太陽(yáng)能設(shè)備，如清洗及PECVD設(shè)備的新型號(hào)，并且為滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，七星華創(chuàng)積極與國(guó)外廠(chǎng)商合作，加強(qiáng)5代、6代線(xiàn)設(shè)備的研發(fā)，目前，他們已經(jīng)能為客戶(hù)提供產(chǎn)品。

半導(dǎo)體設(shè)備前景看好

當(dāng)前，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于升級(jí)換代的時(shí)期，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級(jí)的速度也決定了相關(guān)設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展;與此同時(shí)，中國(guó)政府出臺(tái)的電子信息產(chǎn)業(yè)振興規(guī)劃也為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展帶來(lái)了新的希望。這樣看來(lái)，后危機(jī)時(shí)代的中國(guó)半導(dǎo)體及設(shè)備制造行業(yè)將無(wú)疑會(huì)迎來(lái)更大的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。

業(yè)內(nèi)人士表示，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)應(yīng)該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢(shì)和價(jià)格優(yōu)勢(shì)，加緊縮小與國(guó)外設(shè)備的技術(shù)差距，加強(qiáng)服務(wù)意識(shí)，為國(guó)內(nèi)顧客提供量身定做的產(chǎn)品，以產(chǎn)品差異化切入市場(chǎng)，建立起快速反應(yīng)的服務(wù)機(jī)制，給國(guó)內(nèi)用戶(hù)以足夠的信心。

中電科技集團(tuán)公司第45所副所長(zhǎng)裴二章告訴記者，根據(jù)他們目前所掌握的市場(chǎng)情況分析，半導(dǎo)體分立器件領(lǐng)域首先走出了金融危機(jī)的影響，生產(chǎn)廠(chǎng)商加快了提升產(chǎn)品檔次的速度，正大幅增加設(shè)備投入，擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，以滿(mǎn)足目前供不應(yīng)求的市場(chǎng)需要。45所正適應(yīng)市場(chǎng)需求，及時(shí)調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，加快新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)力度，縮短中試產(chǎn)品的生產(chǎn)周期，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)2009年的銷(xiāo)售目標(biāo)。

張國(guó)銘表示，盡管?chē)?guó)產(chǎn)設(shè)備在集成電路市場(chǎng)泛不起什么漣漪，但他們并沒(méi)有放棄。目前他們正在研發(fā)高端12英寸清洗及氧化設(shè)備，現(xiàn)在已經(jīng)完成樣機(jī)的內(nèi)部工藝試驗(yàn)，即將送到客戶(hù)生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行測(cè)試。